做設備檢驗校準計量器具年審外校的機構

干涉儀校準規程

一、目的

確保干涉儀測量結果的準確性和可靠性，使其滿足使用要求并符合相關標準規范。

二、適用范圍

適用于[具體型號或類型]干涉儀的校準 。

三、校準依據

[列出所遵循的國家、行業標準或儀器制造商提供的校準指南等]

四、校準環境條件

1. 溫度：20℃±2℃，在校準過程中溫度變化每小時不超過1℃。溫度波動會影響光學元件的尺寸和激光波長，進而導致測量誤差?？衫每照{、恒溫箱等設備維持穩定溫度，并在測量區域放置多個溫度傳感器實時監測。

2. 濕度：40% - 60%RH，濕度變化每小時不超過5%RH。高濕度易使光學元件表面產生水汽凝結或腐蝕，影響光學性能。可通過除濕機、加濕器和濕度傳感器來調節和監控。

3. 振動：振動幅值小于[X]μm，頻率小于[X]Hz 。外界振動會使干涉條紋不穩定，影響測量精度。將干涉儀放置在隔振平臺上，并遠離振動源，如大型機械設備、電梯等。

4. 潔凈度：工作環境應保持清潔，避免灰塵、顆粒等污染物進入干涉儀內部污染光學元件?？稍诃h境中安裝空氣凈化設備，并定期清潔工作區域。

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五、校準設備及工具

1. 標準件：具有高精度和可溯源性的標準量塊、標準平面反射鏡、標準球面反射鏡等，其精度等級應高于被校準干涉儀的精度要求。例如，校準測量長度的干涉儀，使用的標準量塊精度等級要達到納米級。

2. 輔助工具：無塵擦拭布、無水乙醇、鏡頭紙用于清潔光學元件；精密調整架用于固定和調整標準件與干涉儀的相對位置；光功率計用于檢測激光光源的光功率 。

六、校準人員要求

校準人員需經過專業培訓，熟悉干涉儀的工作原理、操作方法和校準流程，具備相關的計量知識和技能，并持有相應的計量校準資質證書。

七、校準項目及方法

（一）外觀及功能檢查

1. 外觀檢查：目力觀察干涉儀外殼應無破損、變形、劃痕、銹蝕等缺陷；顯示屏顯示清晰，無缺劃、亮點等問題；操作按鍵功能正常，無卡滯、失靈現象；各接口連接正常，無松動、損壞。

2. 功能檢查：接通電源，開啟干涉儀，檢查儀器自檢功能是否正常；按照儀器操作手冊，依次測試干涉儀的測量模式切換、數據存儲、數據傳輸、參數設置等功能，確認各功能均能正常實現 。

（二）激光波長校準

1. 參考標準選擇：選用經過計量校準且具有溯源性的波長標準器，其波長不確定度應滿足校準要求。

2. 校準步驟：將波長標準器與干涉儀的激光輸出端口進行適配連接；啟動干涉儀和波長標準器，待設備穩定后，在干涉儀上設置波長測量功能；記錄干涉儀測量得到的激光波長值，并與波長標準器的標稱值進行對比；若測量值與標稱值的偏差超出允許范圍，按照干涉儀的操作手冊，通過調整激光光源的相關參數（如電流、溫度等）對波長進行校準，使測量值與標稱值的偏差在允許范圍內 。

（三）測量長度示值誤差校準

1. 標準量塊準備：選取一組不同長度規格的標準量塊，量塊的長度范圍應覆蓋干涉儀的常用測量范圍，且量塊的精度等級滿足校準要求。例如，對于測量范圍為0 - 100mm的干涉儀，可選擇長度為10mm、25mm、50mm、75mm、100mm的標準量塊。

2. 校準步驟：將干涉儀的測量頭與標準量塊的一端接觸，確保接觸良好且測量方向正確；在干涉儀上設置測量長度功能，并進行測量；記錄干涉儀測量得到的長度值，并與標準量塊的標稱長度值進行對比；計算測量示值誤差，公式為：示值誤差 = 測量值 - 標稱值；按照上述步驟，依次對不同長度的標準量塊進行測量和計算示值誤差；繪制示值誤差與測量長度的關系曲線，分析示值誤差是否在允許范圍內 。若超出允許范圍，可通過軟件修正或調整干涉儀的光路系統、測量算法等進行校準。

（四）測量重復性校準

1. 選擇測量點：在干涉儀的測量范圍內，選擇一個具有代表性的測量點，例如對于測量長度的干涉儀，可選擇50mm的位置作為測量點。

2. 校準步驟：在選定的測量點上，使用干涉儀進行連續n次（一般n≥10）測量，每次測量后記錄測量值；計算測量重復性，公式為：測量重復性 = （單次測量標準偏差/測量平均值）×100% ，其中單次測量標準偏差按照貝塞爾公式計算；將計算得到的測量重復性與儀器的技術指標進行對比，判斷測量重復性是否符合要求。若不符合要求，檢查干涉儀的穩定性、測量環境是否存在干擾等因素，并進行相應的調整和校準 。

（五）角度測量示值誤差校準（適用于具有角度測量功能的干涉儀）

1. 標準角度塊準備：選用一組不同角度規格的標準角度塊，角度塊的角度范圍應覆蓋干涉儀的角度測量范圍，且角度塊的精度等級滿足校準要求。

2. 校準步驟：將標準角度塊放置在干涉儀的角度測量工作臺上，調整角度塊的位置和方向，使干涉儀能夠準確測量角度；在干涉儀上設置角度測量功能，并進行測量；記錄干涉儀測量得到的角度值，并與標準角度塊的標稱角度值進行對比；計算角度測量示值誤差，公式為：示值誤差 = 測量值 - 標稱值；按照上述步驟，依次對不同角度的標準角度塊進行測量和計算示值誤差；分析角度測量示值誤差是否在允許范圍內。若超出允許范圍，可通過調整干涉儀的角度測量光路、校準角度測量算法等進行校準 。

（六）平面度測量示值誤差校準（適用于具有平面度測量功能的干涉儀）

1. 標準平面反射鏡準備：選用高精度的標準平面反射鏡，其平面度誤差應遠小于干涉儀的平面度測量允許誤差。

2. 校準步驟：將標準平面反射鏡放置在干涉儀的測量工作臺上，調整反射鏡的位置，使干涉儀能夠對反射鏡的平面度進行測量；在干涉儀上設置平面度測量功能，并進行測量；記錄干涉儀測量得到的平面度誤差值，并與標準平面反射鏡的標稱平面度誤差值進行對比；計算平面度測量示值誤差；分析平面度測量示值誤差是否在允許范圍內。若超出允許范圍，可通過調整干涉儀的光學系統、校準平面度測量算法等進行校準 。

八、校準結果處理

1. 校準證書：校準完成后，應出具校準證書。校準證書應包含以下內容：校準機構名稱、地址；委托方名稱、地址；被校準干涉儀的型號、編號、生產廠家等信息；校準依據；校準環境條件；校準項目、校準結果、測量不確定度；校準日期、校準人員、核驗人員簽名等 。

2. 校準結果判定：根據校準結果，判斷干涉儀是否符合使用要求。若校準項目的測量結果均在允許范圍內，則判定該干涉儀校準合格；若有任何一項校準項目的測量結果超出允許范圍，則判定該干涉儀校準不合格 。對于校準不合格的干涉儀，應注明不合格項目及具體偏差情況，并建議委托方對干涉儀進行維修或調整后重新校準 。

3. 測量不確定度評定：對校準結果進行測量不確定度評定，分析不確定度的來源，如標準件的不確定度、測量重復性引入的不確定度、環境因素引入的不確定度等，并給出合成不確定度和擴展不確定度 。測量不確定度評定應按照相關的標準和規范進行，例如JJF 1059.1《測量不確定度評定與表示》 。在校準證書中應明確給出測量不確定度的評定結果 。

九、復校時間間隔

一般情況下，干涉儀的復校時間間隔建議為1年。但實際復校時間間隔可根據干涉儀的使用頻率、使用環境、測量要求等因素進行適當調整。如果在使用過程中發現干涉儀測量結果出現異常或懷疑其準確性時，應及時進行校準 。

十、注意事項

1. 校準過程中應嚴格按照操作規程進行操作，避免因操作不當導致干涉儀損壞或測量結果不準確。

2. 校準前應對干涉儀和校準設備進行預熱，使其達到穩定工作狀態，以減少溫度變化對測量結果的影響。

3. 在校準過程中，應避免對干涉儀和校準設備產生振動、沖擊和電磁干擾，確保測量環境的穩定性。

4. 清潔光學元件時，應使用柔軟的無塵擦拭布和無水乙醇，輕輕擦拭，避免劃傷光學表面。

5. 校準完成后，應妥善保管校準證書和校準記錄，以便日后查詢和追溯 。